其基本思想是：第一，利用覆盖同一研究区的多景单视SAR影像，选取其中一景SAR影像作为主影像，其余SAR影像分别与主影像配准，依据时间序列上的幅度和(或)相位信息的稳定性选取永久散射体(Persistent Scatterer，PS)目标；第二，经过干涉和去地形处理，得到基于永久散射体目标的差分干涉相位，并对相邻的永久散射体目标的差分干涉相位进行再次差分；第三，根据两次差分后的干涉相位中各个相位成分的不同特性，采用构建形变相位模型和时空滤波或方式估计形变和地形残余信息。

PS-InSAR技术不是针对SAR影像中的所有像元进行数据处理，而是选取在时间上散射特性相对稳定、回波信号较强的PS点作为观测对象。这些PS点通常包括人工建筑物、灯塔、裸露的岩石以及人工布设的角反射器等。PS点的准确选取可以确保即便在干涉对的时间或空间基线很长的条件下(甚至达到临界基线)，PS点依然呈现出较好的相干性和稳定性。